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冷阴极潘宁离子源通过表面溅射直接引出负离子

简介: ? 利用偏轴引出技术,从双等离子体源可引出负离子束...5,潘宁离子源 penning ion source ? 阴极发射的...利用溅射电极容易 获得高电荷态金属离子 ? PIG源多......
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2章离子源_图文

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